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等離子體表面處理儀的工作原理如下:在真空環(huán)境中提供電場,在電場的作用下,帶正電的電荷和電子等相互碰撞電離進(jìn)行輝光放電形成等離子體。電離產(chǎn)生的活性基團(tuán)攜帶巨大的動能,可以破壞材料表面的化學(xué)鍵及分子間作用力,與斷鍵的離子或獨立的分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。



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標(biāo)題:等離子體表面處理儀工作原理

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